ESDP干式螺杆真空泵

ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线,动力节省30%,排气温度低,工艺稳定,此产品适用于各种领域的真空工艺,也维持了最佳的真空效率和耐用性。

ESDP系列不使用油和水,用可变压缩方式操作,水蒸气和液态混合工艺,非常适合干燥,溶剂回收,化工,制药,塑料等各种真空工艺。

优点特征:

  • 吸入效率(提升15%)。
  • 排气效率改善(2级可变,连续可变频率)。
  • 极限压力:1*10-2Torr(托)。
  • 排气温度降低50%。
  • 电力消耗减少30%。
  • 不使用油和水,不会造成油和水的污染。
  • 低功耗、低噪音、低振动,动平衡好,没有惯性力,可高速运行。
  • 设计结构简单,易保养,维修费用低,没有易损件,寿命长。
  • 适用范围广,具有高真空性能。
  • 使用寿命长,气体接触部位都具有聚四氟乙烯、镍和哈氏合金涂层。
  • 不采用机械密封,密封部件无污染,不会因污染而频繁发生故障。
  • 前后采用稀有润滑方式,提高轴承耐用性。

标准配件:

  • 基座和防护罩
  • 排气消声器及进气分离器
  • 吸气口
  • 止回阀
  • 真空计

可选配件:

  • 吸滤器
  • 排气冷凝器
  • 吸入式气液分离器
  • 流量开关及温度开关

ESDP干式螺杆泵的应用范围:

  • ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。
  • 在石油化工中,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
  • 制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。
  • 化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺
  • 工业排气;集中式真空处理系统
  • 挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
  • 混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物
  • 食品行业用于香料、香精浓缩,食品包装等。

技术参数:

型号 抽气量 极限
压力
电机
功率
转速 进气 排气 冷却
水量
噪声 重量
M³/h Pa KW rpm mm mm L/min dB Kg
ESDP320 260 1.33 7.5 2900 65 50 10 80 320
ESDP430 360 1.33 11 2900 65 50 12 80 380
ESDP650 540 1.33 15 2900 80 65 12 80 580
ESDP900 750 1.33 18.5 2900 100 65 20 80 680
ESDP1500 1400 1.33 37 2900 125 80 30 82 950